為了將具有原創性且有重大商業潛能的研發成果推廣至市場商業化，科技部透過「科研創業計畫」孕育超過148家台灣新創。近日科技部召開記者會發表科研產業創新服務成果，邀集到兩組運用學界技術能量提供解決方案的新創團隊，分別為衛波科技的「現地型AI智慧地震防災預警系統」，以及中山大學教授張鼎張具革命性提升半導體元件良率與效能的「創新半導體缺陷消除技術」。

圖一、科技部舉辦科研創業計畫成果發表記者會，發表兩組創業成果。

吳碧娥∕攝影

創新半導體缺陷消除技術  帶動半導體上游產業再升級

台灣引以為傲的半導體產業，讓台灣在全球產業生態鏈中扮演舉足輕重的角色，一定程度上甚至可以作為談判的籌碼。為了培植產業實力，科技部致力於前瞻技術學研團隊的輔導培育，不斷注入學術研究所需的能量與投資，使得台灣許多頂尖優秀的半導體創新技術躍上檯面。

此次「科研創業計畫」成果之一的「創新半導體缺陷消除技術」，是由中山大學教授張鼎張團隊獨家自主開發的全新低溫半導體製程技術與設備，此創新技術改善了過去常用的高溫退火爐管技術，利用低溫的優點有效提升了半導體元件的導通效率，並可改善半導體元件可靠度與良率；適用於寬能隙半導體元件、前瞻奈米元件、光電元件與材料。

圖二、中山大學教授張鼎張解說低溫缺陷鈍化技術的優點及應用。

李淑蓮∕攝影

張鼎張指出，一開始基於學術研究開發超臨界技術時，是從2吋晶圓開始的，後來為了實踐產業化，和業界合作再延伸到6吋及12吋機台的建置（6吋機台的tool與8吋機台共容）。除了半導體領域應用外，低溫缺陷鈍化技術也可應用於MicroLED，於鈍化後邊緣缺陷變少，從而大幅提升發光效率（請參考圖三）。後來張鼎張研發團隊獲得國內光電大廠友達科技投資，成立了奈盾科技。

圖三、低溫缺陷鈍化技術應用於MicroLED

圖片來源：科技部「科創計畫」《超臨界流體低溫缺陷鈍化技術》簡報；張鼎張，中山大學 講座教授，2022.04.20

除了MicroLED外，此技術也可適用於A世代半導體製程技術，包括清洗及蝕刻。張鼎張指出，其低溫缺陷鈍化技術有三大特性，分別是高反應性、高滲透性、及低表面張力。由於改善了過去常用的高溫退火爐管技術，利用低溫優點有效提升了半導體元件的導通效率，因此可有效改善半導體元件的可靠度與良率，該技術業已通過數家半導體暨光電大廠驗證，並獲得日本半導體大廠東京威力TEL的投資。

圖四、低溫缺陷鈍化技術應用於A世代半導體製程

圖片來源：科技部「科創計畫」《超臨界流體低溫缺陷鈍化技術》簡報；張鼎張，中山大學 講座教授，2022.04.20

奈盾科技營運長李純懷指出，目前已有數家半導體廠商對其低溫缺陷鈍化技術表示興趣，奈盾正配合不同客戶的需求調整，以期在短期內推出客製化的樣機，並進行後續驗證動作。雖然此項技術涉及十多件專利，但其商業化方式卻未考慮授權或技轉，而是以tool方式將之貨幣化；如此一來，才能更廣泛且全面帶動半導體上游產業再升級。

AI地震預警創新應用  震後最快15分鐘恢復產能

台灣位在環太平洋地震帶上，一旦發生地震不僅為社會帶來重大傷害，也讓高科技產業蒙受額外損失。「現地型AI智慧地震防災預警系統」可協助台灣高科技廠房在遇到地震來襲時，透過預警提前運連動廠房的精密設備，大幅減低機台損害與經濟損失，目前已獲得台灣高鐵及多家台灣高科技大廠採用。

2008年國家地震工程研究中心成立「地震預警研發計畫團隊」，2014年起陸續接受AGC、台積電、頂正、美光、聯電委託建置與維運「廠房地震預警系統」，也曾為高鐵開發「高鐵地震早期預警系統」。衛波科技執行長林沛暘過去為國研院國家地震中心研究員，曾擔任地震預警與防災監測等相關計畫的主持人，帶領團隊完成全國3477所校園地震預警系統建置，並協助建置國家複合式地震速報服務，在2020～2021年科技部的價創計畫支持下衍生新創團隊，於2021年7月衛波科技正式成立，研發出「AI現地型地震預警系統」與「結構監測自動化平台」，除了震前預警減少損失，還提供震後監測服務，期望加快救災效率。

圖五、衛波科技執行長林沛暘

吳碧娥∕攝影

衛波科技AI模組涵蓋超過30萬筆地震資料，每年新增5000筆地震紀錄，透過歷史地震紀錄開發出AI地震預警模組，能夠提早5～20秒前預警地震發生，早期警報早期應變、減少地震災害損失。林沛暘指出，將地震預報系統應用在科技廠房架構中，透過客戶端設置感測和分析的預警系統，震前數秒至數十秒前預估震度提出預警，在強烈震動前，即可通知疏散人員、關閉瓦斯、危險管線，讓廠房可以最快速度應變，維持在當下最佳待機狀態，降低機台發生損害，晶圓廠客戶反饋AI地震預警模組導入後，產線復歸時間由4～8小時降低至15～30分鐘，大幅提升地震後產線恢復正常作業的速度。

圖六、AI現地型地震預警系統應用架構

圖片來源：科技部「科創計畫」《現地型AI地震防災預警系統》簡報；林沛暘，衛波科技執行長，2022.04.20

在海外應用方面，目前這套地震預警系統已經推廣到印度、紐西蘭、印尼等國家，一套AI 地震預警系統可服務半徑15公里區域，對於學校、住家、辦公大樓、商場、工廠、飯店等場域來說，僅需安裝「警報接收機」接收警報，即可提供震前聲光警示、瓦斯、電梯控制；以雅加達為例，僅需7套AI地震預警系統便可服務當地2000萬居民，透過共享經濟就能實現智慧防災。

而團隊的另一項研發成果為「大樓結構監測系統」，衛波科技的運算平台能在震後10～15分鐘內，提出層間變位分析和建物結構安全評估報告，及時判斷房屋或建物結構的安全等級，除了鎖定般住宅市場，目前衛波科技正積極與公部門合作應用於社會住宅，透過智慧化的防災設備與應用服務，讓建築安全更為智慧、透明。

圖七、「結構監測系統」應用於大樓震後安全監控

圖片來源：科技部「科創計畫」《現地型AI地震防災預警系統》簡報；林沛暘，衛波科技執行長，2022.04.20

科研創業計畫募資超過新台幣67.9億元

科技部次長陳宗權表示，科研創業計畫目標是協助學界具潛力之技術進行商業化，將學校教授的技術找到出海口，截至2021年底，已有148件個案出場成立新創公司，向國內外投資人成功募資金額超過新台幣67.9億元。台灣學界蘊藏許多具市場潛力的技術成果，可望成為產業解決現有問題之良藥，並帶動創造更多社會效益。

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